Радиационно-термическое окисление монокристаллического кремния: автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук.: 02.00.09 / Соловейчик Алексей Валерьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад121884,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Соловейчик, А. В.
Опубликовано: СПб. , 2003.
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br694473
005 20110218111456.0
100 # # $a 20050309d2003 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Радиационно-термическое окисление монокристаллического кремния  $e автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук.  $e 02.00.09  $f Соловейчик Алексей Валерьевич  $g [Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования С.-Петерб. гос. технол. ин-т] 
210 # # $a СПб.  $d 2003. 
215 # # $a 20 с. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2148506  $a ХИМИЯ ТВЕРДОГО ТЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35841  $a ФИЗИКА ЭЛЕМЕНТАРНЫХ ЧАСТИЦ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2148508  $a ХІМІЯ ЦВЁРДАГА ЦЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35842  $a ФІЗІКА ЭЛЕМЕНТАРНЫХ ЧАСЦІЦ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1733874  $a ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1733895  $a ТЭРМІЧНАЕ АКІСЛЕННЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 31.15.19  $2 rugasnti 
686 # # $a 31.15.29  $2 rugasnti 
686 # # $a 02.00.09  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-583973  $a Соловейчик  $b А. В.  $g Алексей Валерьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050309  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo