|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br690721 |
| 005 |
20220415122444.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20050223d2003 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра
$e автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.02.13
$f Каблуков Андрей Леонидович
$g [Моск. гос. ин-т электрон. техники]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 2003
|
| 215 |
# |
# |
$a 26 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 25-26 (10 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15092
$a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39622
$a ЭПИТАКСИЯ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24113
$a ПОДЛОЖКИ (электроника)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83769
$a ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.02.13
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-581395
$a Каблуков
$b А. Л.
$g Андрей Леонидович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20050223
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
