Особенности процесса переноса внедряемых ионов и атомов отдачи при имплантации в твердые тела: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников и диэлектриков / Шлотцхауэр Геральд

Сохранено в:
Шифр документа: Ба195915, БА195916, АЯ498348, АЯ510364,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Шлотцхауэр, Г.
Опубликовано: Минск , 1984
Физические характеристики: 14 с.
Язык: Русский
Предмет:
ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА
ЗАРЯЖЕННЫЕ ЧАСТИЦЫ
ПЕРЕНОСА ЯВЛЕНИЯ
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
КРЕМНИЙ
БОЛЬЦМАНА УРАВНЕНИЯ
ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ИЗЛУЧЕНИЯ С ВЕЩЕСТВОМ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br687512
005 20191001151822.0
100 # # $a 20050215d1984 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Особенности процесса переноса внедряемых ионов и атомов отдачи при имплантации в твердые тела  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.10 Физика полупроводников и диэлектриков  $f Шлотцхауэр Геральд  $g Белорусский государственный университет им. В. И. Ленина 
210 # # $a Минск  $d 1984 
215 # # $a 14 с. 
320 # # $a Библиография: с. 13―14 (6 назв.) и в подстрочных примечаниях 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35849  $a ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar10789  $a ЗАРЯЖЕННЫЕ ЧАСТИЦЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23222  $a ПЕРЕНОСА ЯВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4368  $a БОЛЬЦМАНА УРАВНЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2749267  $a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5281786  $a ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ИЗЛУЧЕНИЯ С ВЕЩЕСТВОМ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 538.9-405(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 539.12-17(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 29.19.25  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.35.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrsssr 
700 # 1 $3 BY-SEK-195047  $a Шлотцхауэр  $b Г.  $g Геральд  $c кандидат физико-математических наук 
712 0 2 $3 BY-SEK-980479  $a Белорусский государственный университет имени В. И. Ленина  $c Минск  $4 995  $4 595 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2446913  $a Институт прикладных физических проблем имени А. Н. Севченко  $c Минск  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050215  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/ba195915.pdf 

Схожие документы