Пространственное распределение, накопление и отжиг дефектов в ионно-легированном кремнии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников и диэлектриков / Хельцер Гисберт

Сохранено в:
Шифр документа: Ба197765, БА197766, АЯ514440, АЯ516706,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Хельцер, Г.
Опубликовано: Минск , 1984
Физические характеристики: 15 с., включая обложку
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br673353
005 20190917133845.0
100 # # $a 20050104d1984 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Пространственное распределение, накопление и отжиг дефектов в ионно-легированном кремнии  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.10 Физика полупроводников и диэлектриков  $f Хельцер Гисберт  $g Министерство высшего и среднего специального образования БССР, Белорусский государственный университет им. В. И. Ленина 
210 # # $a Минск  $d 1984 
215 # # $a 15 с., включая обложку 
320 # # $a Библиография: с. 15 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11558  $a ИМПУЛЬСНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15677  $a ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18851  $a МОНОКРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22258  $a ОТЖИГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar87382  $a ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.315.592.3:669.782:621.785.3(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrsssr 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 53.41.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.20.15  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-119687  $a Хельцер  $b Г.  $g Гисберт  $c кандидат физико-математических наук  
712 0 2 $3 BY-SEK-980479  $a Белорусский государственный университет имени В. И. Ленина  $c Минск  $4 995  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050104  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br673353&fileID=101772