|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br673353 |
005 |
20190917133845.0 |
100 |
# |
# |
$a 20050104d1984 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a BY
|
105 |
# |
# |
$a y m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Пространственное распределение, накопление и отжиг дефектов в ионно-легированном кремнии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 01.04.10 Физика полупроводников и диэлектриков
$f Хельцер Гисберт
$g Министерство высшего и среднего специального образования БССР, Белорусский государственный университет им. В. И. Ленина
|
210 |
# |
# |
$a Минск
$d 1984
|
215 |
# |
# |
$a 15 с., включая обложку
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 15
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11558
$a ИМПУЛЬСНАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15677
$a ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18851
$a МОНОКРИСТАЛЛЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22258
$a ОТЖИГ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24594
$a ПОЛУПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar87382
$a ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ
$2 DVNLB
|
615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
675 |
# |
# |
$a 621.315.592.3:669.782:621.785.3(043.3)
$v 4
$z rus
|
686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 nsnrsssr
|
686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 53.41.31
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 55.20.15
$v 6
$2 rugasnti
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-119687
$a Хельцер
$b Г.
$g Гисберт
$c кандидат физико-математических наук
|
712 |
0 |
2 |
$3 BY-SEK-980479
$a Белорусский государственный университет имени В. И. Ленина
$c Минск
$4 995
$4 595
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20050104
$g psbo
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br673353&fileID=101772
|