Быстрые термообработки в технологии СБИС / В. А. Пилипенко

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ба377947, 1Ба377948,
Вид документа: Книги
Автор: Пилипенко, В. А. (род. 1949)
Опубликовано: Минск : Издательский центр БГУ , 2004
Физические характеристики: 531 с. : ил., табл. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Грант БРФФИ
Предмет:
СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ОБРАБОТКА
ИМПУЛЬСНАЯ ОБРАБОТКА
ИМПУЛЬСНЫЙ НАГРЕВ
ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ТЕПЛОВЫЕ ПОЛЯ
ТЕМПЕРАТУРНЫЕ НАПРЯЖЕНИЯ
РАСЧЕТА МЕТОДЫ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br669645
005 20230620093308.0
010 # # $a 985-476-251-3  $b в переплете 
100 # # $a 20041221d2004 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a z 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Быстрые термообработки в технологии СБИС  $f В. А. Пилипенко 
210 # # $a Минск  $c Издательский центр БГУ  $d 2004 
215 # # $a 531 с.  $c ил., табл.  $d 21 см 
225 1 # $a Грант БРФФИ 
320 # # $a Библиография в конце глав 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381802  $a КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23928  $a ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33558  $a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4135322  $a ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11558  $a ИМПУЛЬСНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar58499  $a ИМПУЛЬСНЫЙ НАГРЕВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35931  $a ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33416  $a ТЕПЛОВЫЕ ПОЛЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2863186  $a ТЕМПЕРАТУРНЫЕ НАПРЯЖЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18108  $a РАСЧЕТА МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2644768  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33890  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.771.16-027.3:621.78  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.01  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.21.01  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-241260  $a Пилипенко  $b В. А.  $g Владимир Александрович  $c доктор технических наук  $f род. 1949 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20041221  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 

Схожие документы