Оптико-электронные методы и приборы прецизионного контроля геометрических и оптических параметров технических микрообъектов: Дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.11.07: Защищена 17.10.03: Утв. 13.05.04 / Ильин Виктор Николаевич
Gespeichert in:
Format: | |
---|---|
1. Verfasser: | Ильин, В. Н. |
Veröffentlicht: | Мн. , 2003 |
Sprache: | Русский |
Schlagworte: | |
Online Zugang: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|