Пространственные распределения выделенной энергии и примеси при ионной имплантации: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика твердого тела / Темкин Михаил Матвеевич
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Темкин, М. М. |
| Апублікавана: | Минск , 1983 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
14 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||