Пространственные распределения выделенной энергии и примеси при ионной имплантации: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика твердого тела / Темкин Михаил Матвеевич

Сохранено в:
Шифр документа: Ба190130, АЯ471510, БА190131,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Темкин, М. М.
Опубликовано: Минск , 1983
Физические характеристики: 14 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br643283
005 20190514203725.0
100 # # $a 20040928d1983 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Пространственные распределения выделенной энергии и примеси при ионной имплантации  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.07 Физика твердого тела  $f Темкин Михаил Матвеевич  $g Академия наук БССР, Институт физики твердого тела и полупроводников 
210 # # $a Минск  $d 1983 
215 # # $a 14 с. 
320 # # $a Библиография: с. 12―14 (19 назв.) и в подстрочных примечаниях 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35849  $a ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25538  $a ПРИМЕСИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35331  $a УПРУГОЕ РАССЕЯНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26909  $a РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5281786  $a ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ИЗЛУЧЕНИЯ С ВЕЩЕСТВОМ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 539.12-17(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 538.971(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 01.04.07  $2 nsnrsssr 
686 # # $a 29.15.35  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.21  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.25  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-186604  $a Темкин  $b М. М.  $g Михаил Матвеевич  $c кандидат физико-математических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar81841  $a Институт физики твердого тела и полупроводников  $c Минск  $4 995 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2446913  $a Институт прикладных физических проблем имени А. Н. Севченко  $c Минск  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20040928  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/ba190130.pdf