Исследование и разработка процесса формирования анодных оксидных пленок кремния и алюминия и их применение в интегральных микросхемах: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18 / Баранов Игорь Ливерьевич
Zapisane w:
Format: | |
---|---|
1. autor: | Баранов, И. Л. (род. 1941) |
Wydane: | Мн. , 1978 |
Opis fizyczny: |
23 с.
|
Język: | Русский |
Hasła przedmiotowe: | |
Dostęp online: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|