Исследование и разработка процесса формирования анодных оксидных пленок кремния и алюминия и их применение в интегральных микросхемах: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18 / Баранов Игорь Ливерьевич
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Баранов, И. Л. (род. 1941) |
| Publicado: | Мн. , 1978 |
| Descripción Física: |
23 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: | |
| Acceso en línea: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||