Исследование и разработка процесса формирования анодных оксидных пленок кремния и алюминия и их применение в интегральных микросхемах: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18 / Баранов Игорь Ливерьевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Баранов, И. Л. (род. 1941) |
| Published: | Мн. , 1978 |
| Physical Description: |
23 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||