Исследование и разработка процесса формирования анодных оксидных пленок кремния и алюминия и их применение в интегральных микросхемах: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18 / Баранов Игорь Ливерьевич
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Баранов, И. Л. (род. 1941) |
| Апублікавана: | Мн. , 1978 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
23 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||