Исследование и разработка процесса формирования анодных оксидных пленок кремния и алюминия и их применение в интегральных микросхемах: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18 / Баранов Игорь Ливерьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад106503,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Баранов, И. Л. (род. 1941)
Опубликовано: Мн. , 1978
Физические характеристики: 23 с.
Язык: Русский
Предмет:
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ
ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ
ПЛЕНКИ
КРЕМНИЙ
АЛЮМИНИЙ
МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
ДЫЭЛЕКТРЫЧНЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ
АНОДНАЕ АКСІДЗІРАВАННЕ
ПЛЁНКІ
КРЭМНІЙ
АЛЮМІНІЙ
ЭЛЕКТРАЛІТЫЧНАЕ АСАДЖЭННЕ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br614462
005 20190628155725.0
100 # # $a 20040601d1978 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Исследование и разработка процесса формирования анодных оксидных пленок кремния и алюминия и их применение в интегральных микросхемах  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.12.18  $f Баранов Игорь Ливерьевич  $g Ин-т электроники Акад. наук Белорус. ССР 
210 # # $a Мн.  $d 1978 
215 # # $a 23 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 22-23 (15 назв.) 
300 # # $a Для служ. пользования. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9579  $a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38978  $a ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83379  $a АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23808  $a ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2262  $a АЛЮМИНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9580  $a ДЫЭЛЕКТРЫЧНЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83380  $a АНОДНАЕ АКСІДЗІРАВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23809  $a ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2263  $a АЛЮМІНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38979  $a ЭЛЕКТРАЛІТЫЧНАЕ АСАДЖЭННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2722583  $a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.382.049.774.3.002:621.357(043.3)  $v 3  $z rus 
675 # # $a 621.315.61-416.002(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.12.18  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-535447  $a Баранов  $b И. Л.  $g Игорь Ливерьевич  $c кандидат технических наук  $f род. 1941 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20040601  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br614462&fileID=996806 

Схожие документы