Разработка технологического процесса геттерирования дефектов в кремниевых пластинах имплантацией ионов вольфрама и свинца: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18 / Хитько Валентин Иванович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад106188,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Хитько, В. И. (род. 1944)
Опубликовано: Мн. , 1984
Физические характеристики: 21 с.
Язык: Русский
Предмет:
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ГЕТТЕРИРОВАНИЕ
ВОЛЬФРАМ
СВИНЕЦ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ
ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
ГЕТЭРАВАННЕ
ВАЛЬФРАМ
СВІНЕЦ
ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br612801
005 20130829144010.0
100 # # $a 20040526d1984 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Разработка технологического процесса геттерирования дефектов в кремниевых пластинах имплантацией ионов вольфрама и свинца  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.12.18  $f Хитько Валентин Иванович  $g Мин. радиотехн. ин-т 
210 # # $a Мн.  $d 1984 
215 # # $a 21 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 20-21 (7 назв.) 
300 # # $a Для служ. пользования. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar58309  $a ГЕТТЕРИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6196  $a ВОЛЬФРАМ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29314  $a СВИНЕЦ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24593  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15093  $a КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar58310  $a ГЕТЭРАВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6197  $a ВАЛЬФРАМ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29315  $a СВІНЕЦ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33875  $a ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar87382  $a ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.382.049.77.002:621.793(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.12.18  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-534973  $a Хитько  $b В. И.  $g Валентин Иванович  $c кандидат технических наук  $f род. 1944 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20040526  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad106188.pdf 

Схожие документы