Плазмохимическое травление тонких пленок алюминия и его сплава с кремнием при создании металлизации интегральных микросхем повышенной степени интеграции: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18 / Мельянец Геннадий Иванович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мельянец, Г. И. |
| Опубликовано: | Мн. , 1983 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||