|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br612258 |
| 005 |
20070920110558.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20040525d1983 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a y 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Плазмохимическое травление тонких пленок алюминия и его сплава с кремнием при создании металлизации интегральных микросхем повышенной степени интеграции
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.12.18
$f Мельянец Геннадий Иванович
$g Ин-т электроники АН БССР
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 1983
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 23-24 (11 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2105390
$a БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2262
$a АЛЮМИНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34342
$a ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17958
$a МЕТАЛЛИЗАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23671
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60408
$a АЛЮМИНИЕВО-КРЕМНИЕВЫЕ СПЛАВЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2105397
$a ВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121097
$a ЗВЫШВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34162
$a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2263
$a АЛЮМІНІЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2259
$a АЛЮМІНІЕВЫЯ СПЛАВЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34343
$a ТРАЎЛЕННЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17959
$a МЕТАЛІЗАЦЫЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23672
$a ПЛАЗМАХІМІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60409
$a АЛЮМІНІЕВА-КРЭМНІЕВЫЯ СПЛАВЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2258
$a АЛЮМИНИЕВЫЕ СПЛАВЫ
$2 DVNLB
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.002:621.794.44(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.19
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.12.18
$2 nsnrrb
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-535519
$a Мельянец
$b Г. И.
$g Геннадий Иванович
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20040525
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad106078.pdf
|
