|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br611616 |
| 005 |
20220414175934.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20040522d1967 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a y 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формирование диэлектрических и металлических пленок в производстве МОП-интегральных схем плазменными методами
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.27.01
$f Пухов Виктор Иванович
$g Акад. наук БССР, Ин-т электроники
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 1967
|
| 215 |
# |
# |
$a 18 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 15-18 (30 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23671
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23672
$a ПЛАЗМАХІМІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23808
$a ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23809
$a ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar64055
$a МОП-СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar64056
$a МВП-СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.774.2-027.3:621.7/.047.4(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-353979
$a Пухов
$b В. И.
$g Виктор Иванович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20040522
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br611616&fileID=217849
|
