Структурно-примесные и электрофизические свойства системы Si-SiO 2

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ок84791,
Вид документа: Книги
Автор: Зайцев, Н. А.
Опубликовано: М. : Радио и связь , 1993
Физические характеристики: 192 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br60272
005 20070615155443.4
010 # # $a 5-256-01177-2  $d Б.ц. 
020 # # $a ru  $b 94-4151 
100 # # $a 19940613d1993 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a 000yy 
109 # # $a ca 
200 1 # $a Структурно-примесные и электрофизические свойства системы Si-SiO 2 
210 # # $a М.  $c Радио и связь  $d 1993 
215 # # $a 192 с. 
300 # # $a Библиогр. в конце глав. 
345 # # $9 2000 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24114  $a ПАДЛОЖКІ (электроніка)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15093  $a КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
610 0 # $a Диоксиды кремния 
610 0 # $a Дыяксіды крэмнія 
675 # # $a 621.382.049.77  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-235932  $a Зайцев  $b Н. А.  $g Николай Алексеевич  $c доктор технических наук 
701 # 1 $3 BY-SEK-235933  $a Шурчков  $b И. О.  $g Игорь Олегович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19940613  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060314  $g psbo