Система кремний ― двуокись кремния в МОП-структурах / Н. В. Румак

Сохранено в:
Шифр документа: Ба208404, 122904, БА208740, 148952,
Вид документа: Книги
Автор: Румак, Н. В. (1941—1995)
Опубликовано: Минск : Наука и техника , 1986
Физические характеристики: 239, [1] с. : ил., табл. ; 21 см
Язык: Русский
Предмет:
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
МОП-СТРУКТУРЫ
КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ
ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ
ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ОКИСЛЕНИЕ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br599953
005 20220414175614.0
010 # # $b В переплете  $d 1 р. 80 к. 
100 # # $a 20040417d1986 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a z 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Система кремний ― двуокись кремния в МОП-структурах  $f Н. В. Румак  $g под редакцией В. М. Колешко  $g Академия наук Белорусской ССР, Физико-технический институт 
210 # # $a Минск  $c Наука и техника  $d 1986 
215 # # $a 239, [1] с.  $c ил., табл.  $d 21 см 
300 # # $a Библиография: с. 219―236 (302 назв.) 
345 # # $9 1000 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar64055  $a МОП-СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2246902  $a КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381802  $a КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2685016  $a КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2722583  $a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33558  $a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21561  $a ОКИСЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.2/.3-027.3  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.29  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.53  $v 5  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-178732  $a Румак  $b Н. В.  $g Николай Владимирович  $c доктор технических наук  $f 1941—1995 
702 # 1 $3 BY-SEK-224689  $a Колешко  $b В. М.  $g Владимир Михайлович  $c доктор технических наук  $f род. 1942  $4 340 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20040417  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 

Схожие документы