Технологии и методы исследования структур КНИ / Б.Ю.Богданович, В.И.Графутин, В.В.Калугин и др.

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ок333495,
Вид документа: Книги
Опубликовано: М. : МИЭТ , 2003
Физические характеристики: 288 с. ; 21 см.
Язык: Русский
Предмет:
КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
ДИОКСИД КРЕМНИЯ
ПОДЛОЖКИ (электроника)
ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ
ДЫАКСІД КРЭМНІЮ
ПАДЛОЖКІ (электроніка)
ХІМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА
ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ СТРУКТУРЫ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br575112
005 20220412161055.0
010 # # $a 5-7256-0320-2  $b в пер.  $d Б.ц. 
100 # # $a 20040202d2003 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Технологии и методы исследования структур КНИ  $f Б.Ю.Богданович, В.И.Графутин, В.В.Калугин и др.  $g Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) и др. 
210 # # $a М.  $c МИЭТ  $d 2003 
215 # # $a 288 с.  $d 21 см. 
300 # # $a В надзаг. также: Моск. инженер.-физ. ин-т (гос. ун-т), ФГУП ГНЦ РФ "Ин-т теорет. и эксперим. физики" 
300 # # $a Библиогр. в конце гл. 
345 # # $9 200 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15100  $a ДИОКСИД КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36831  $a ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15093  $a КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15101  $a ДЫАКСІД КРЭМНІЮ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24114  $a ПАДЛОЖКІ (электроніка)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36832  $a ХІМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24597  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24596  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.315.592  $v 3  $z rus 
675 # # $a 621.382.049.77.002.3  $v 3  $z rus 
675 # # $a 537.311.322  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-SEK-308214  $a Графутин  $b В. И. 
701 # 1 $3 BY-SEK-449632  $a Калугин  $b В. В. 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20040202  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 

Схожие документы