Структуры кремний-на-изоляторе на основе окисленного пористого кремния для комплементарных металл-оксид-полупроводник интегральных схем: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01: Защищена 14.11.02: Утв. 23.04.03 / Яковцева Валентина Александровна

Сохранено в:
Шифр документа: 26Ад3932,
Вид документа: Диссертации
Автор: Яковцева, В. А.
Опубликовано: Мн. , 2002
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004id4500
001 BY-NLB-br569960
005 20240925085424.0
100 # # $a 20040110d2002 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a m 000yy 
106 # # $a h 
109 # # $a aa  $a ab 
200 1 # $a Структуры кремний-на-изоляторе на основе окисленного пористого кремния для комплементарных металл-оксид-полупроводник интегральных схем  $e Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.01  $e Защищена 14.11.02  $e Утв. 23.04.03  $f Яковцева Валентина Александровна 
210 # # $a Мн.  $d 2002 
300 # # $a Библиогр.: л. 178-183 (83 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83377  $a КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ-ТЕХНОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83378  $a КРЭМНІЙ НА ІЗАЛЯТАРЫ-ТЭХНАЛОГІЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar64055  $a МОП-СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2745708  $a ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-508786  $a Яковцева  $b В. А.  $g Валентина Александровна  $c кандидат технических наук, электроника 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20040110  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br569960&fileID=1262223