Управление параметрами ионнолегированных слоев в условиях неизотермического отжига: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18 / Науйокайтис Рамунас Юстинович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад100094,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Науйокайтис, Р. Ю.
Опубликовано: Мн. , 1981
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
Предмет:
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
ПОЛУПРОВОДНИКИ
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ОТЖИГ
АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМИ ПРОЦЕССАМИ
ПАЎПРАВАДНІКІ
ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
АДПАЛ
АЎТАМАТЫЗАВАНЫЯ СІСТЭМЫ КІРАВАННЯ ТЭХНАЛАГІЧНЫМІ ПРАЦЭСАМІ
ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br568187
005 20080603155211.0
100 # # $a 20031223d1981 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Управление параметрами ионнолегированных слоев в условиях неизотермического отжига  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.12.18  $f Науйокайтис Рамунас Юстинович  $g Мин. радиотехн. ин-т 
210 # # $a Мн.  $d 1981 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 20-22 (13 назв.) 
300 # # $a Для служ. пользования. 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22258  $a ОТЖИГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22259  $a АДПАЛ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24593  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33875  $a ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar80431  $a АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМИ ПРОЦЕССАМИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar80432  $a АЎТАМАТЫЗАВАНЫЯ СІСТЭМЫ КІРАВАННЯ ТЭХНАЛАГІЧНЫМІ ПРАЦЭСАМІ  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.315.592.002:658.012.011.56(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 05.12.18  $2 nsnrrb 
686 # # $a 47.01.85  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 50.47.02  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-494924  $a Науйокайтис  $b Р. Ю.  $g Рамунас Юстинович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20031223  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br568187&fileID=946895 

Схожие документы