Исследование массопереноса в тонких металлических пленках и повышение долговечности межсоединений полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18: 19.03.1982 / Белицкий Владимир Фомич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Белицкий, В. Ф. (род. 1949) |
| Опубликовано: | Мн. , 1982 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||