Электрические и оптические свойства легированного поликристаллического кремния, подвергнутого импульсной термообработке: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10: 20.06.1986 / Самуйлов Владимир Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад99353,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Самуйлов, В. А.
Опубликовано: Мн. , 1986
Физические характеристики: 19 с.
Язык: Русский
Предмет:
ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
ПОЛУПРОВОДНИКИ
КРЕМНИЙ
ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ЭЛЕКТРЫЧНЫЯ ЎЛАСЦІВАСЦІ
АПТЫЧНЫЯ ЎЛАСЦІВАСЦІ
ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
ІМПУЛЬСНАЯ АПРАЦОЎКА
ТЭРМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА
ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ИМПУЛЬСНАЯ ОБРАБОТКА
ПАЎПРАВАДНІКІ
КРЭМНІЙ
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br563310
005 20090129112910.0
100 # # $a 20031202d1986 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Электрические и оптические свойства легированного поликристаллического кремния, подвергнутого импульсной термообработке  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 01.04.10  $e 20.06.1986  $f Самуйлов Владимир Александрович  $g Белорус. гос. ун-т им. В.И.Ленина 
210 # # $a Мн.  $d 1986 
215 # # $a 19 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 16-19 
300 # # $a Для служ. пользования. 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21821  $a ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33558  $a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38855  $a ЭЛЕКТРЫЧНЫЯ ЎЛАСЦІВАСЦІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21822  $a АПТЫЧНЫЯ ЎЛАСЦІВАСЦІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11559  $a ІМПУЛЬСНАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33559  $a ТЭРМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38854  $a ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11558  $a ИМПУЛЬСНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
675 # # $a 537.311.322(043.3)  $v 3  $z rus 
675 # # $a 538.95-405(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.23  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-493400  $a Самуйлов  $b В. А.  $g Владимир Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20031202  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad99353.pdf 

Схожие документы