Процессы и устройства СВЧ плазмохимического удаления материалов при формировании изделий электронной техники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.06: 11.12.2003 / Бордусов Сергей Валентинович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад99143, 2Ад99144,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Бордусов, С. В. (род. 1955)
Опубликовано: Мн. , 2003
Физические характеристики: 41 с.
Язык: Русский
Предмет:
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
СВЕРХВЫСОКИЕ ЧАСТОТЫ
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНІКА
МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
ЗВЫШВЫСОКІЯ ЧАСТОТЫ
ПЛАЗМАХІМІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
ПЛАЗМЕННАЯ АПРАЦОЎКА
Е-документ: E-документ

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 2 , доступно: 2 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2Ад99143 ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:78 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал
2Ад99144 ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:78 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал

Схожие документы