Процессы и устройства СВЧ плазмохимического удаления материалов при формировании изделий электронной техники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.06: 11.12.2003 / Бордусов Сергей Валентинович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад99143, 2Ад99144,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Бордусов, С. В. (род. 1955)
Опубликовано: Мн. , 2003
Физические характеристики: 41 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br561781
005 20090129091039.0
100 # # $a 20031125d2003 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Процессы и устройства СВЧ плазмохимического удаления материалов при формировании изделий электронной техники  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук  $e 05.27.06  $e 11.12.2003  $f Бордусов Сергей Валентинович  $g Учреждение образования "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Мн.  $d 2003 
215 # # $a 41 с. 
300 # # $a Рез. парал.: белорус., рус., англ 
300 # # $a Библиогр.: с. 31-38 (71 назв.) 
300 # # $a Для служ. пользования 
345 # # $9 80 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39076  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2122596  $a СВЕРХВЫСОКИЕ ЧАСТОТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23671  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23655  $a ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39077  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2122598  $a ЗВЫШВЫСОКІЯ ЧАСТОТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23672  $a ПЛАЗМАХІМІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23656  $a ПЛАЗМЕННАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.382.049.77.002(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.20.15  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar2634921  $a Бордусов  $b С. В.  $g Сергей Валентинович  $c доктор технических наук  $f род. 1955 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20031125  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad99143.pdf