Разработка технологического процесса создания алюминиевых подложек для тонкопленочных ГИМС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18: 10.11.1983 / Костюченко Сергей Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад98953,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Костюченко, С. А. (род. 1956)
Опубликовано: Мн. , 2003
Физические характеристики: 23 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br560868
005 20090128153512.0
100 # # $a 20031119d2003 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Разработка технологического процесса создания алюминиевых подложек для тонкопленочных ГИМС  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.12.18  $e 10.11.1983  $f Костюченко Сергей Александрович  $g Мин. радиотехн. ин-т 
210 # # $a Мн.  $d 2003 
215 # # $a 23 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 21-23 (18 назв.) 
300 # # $a Для служ. пользования. 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7405  $a ГІБРЫДНЫЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34176  $a ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24114  $a ПАДЛОЖКІ (электроніка)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33875  $a ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7404  $a ГИБРИДНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.382.049.75.002(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.17  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.12.18  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-491192  $a Костюченко  $b С. А.  $g Сергей Александрович  $c кандидат технических наук  $f род. 1956 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20031119  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad98953.pdf