Разработка материалов и процессов формирования термостабильных силицидсодержащих контактных слоев блоков токопроводящих систем изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18: 00.10.1983 / Шаталов Виктор Васильевич
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Шаталов, В. В. |
| Publié: | Мн. , 1983 |
| Description matérielle: |
24 с.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||