Разработка материалов и процессов формирования термостабильных силицидсодержащих контактных слоев блоков токопроводящих систем изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18: 00.10.1983 / Шаталов Виктор Васильевич
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Шаталов, В. В. |
| Publicado: | Мн. , 1983 |
| Descripción Física: |
24 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: | |
| Acceso en línea: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||