|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br55985 |
| 005 |
20070615155239.8 |
| 010 |
# |
# |
$d Б.ц.
|
| 020 |
# |
# |
$a ru
$b 94-30094
|
| 100 |
# |
# |
$a 19940530d1992 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Диффузионные процессы в тонкопленочных металлических системах
$f А.Н.Алешин, Б.С.Бокштейн, П.В.Куркин
$g Рос. АН, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов
|
| 205 |
# |
# |
$a Препр.
|
| 210 |
# |
# |
$a Черноголовка
$d 1992
|
| 215 |
# |
# |
$a 47 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 38-47 (122 назв.).
|
| 345 |
# |
# |
$9 100 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9565
$a ДИФФУЗИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34162
$a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9566
$a ДЫФУЗІЯ
$2 DVNLB
|
| 675 |
# |
# |
$a 669:539.216.2
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.17.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 53.49.01
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 53.49.07
$2 rugasnti
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-229441
$a Алешин
$b А. Н.
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19940530
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060314
$g psbo
|
