Исследование деформации полупроводниковых структур с диэлектрической изоляцией методом отраженного лазерного излучения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 / Пилипенко Владимир Александрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пилипенко, В. А. (род. 1949) |
| Опубликовано: | Мн. , 1981 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||