Исследование деформации полупроводниковых структур с диэлектрической изоляцией методом отраженного лазерного излучения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 / Пилипенко Владимир Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад98320,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Пилипенко, В. А. (род. 1949)
Опубликовано: Мн. , 1981
Физические характеристики: 19 с.
Язык: Русский
Предмет:
КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
ЛАЗЕРНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ
ДЕФОРМАЦИЯ (физ.)
КОНТРОЛЬ КАЧЕСТВА
ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ СТРУКТУРЫ
КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ
ДЭФАРМАЦЫЯ (фіз.)
КАНТРОЛЬ ЯКАСЦІ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ЛАЗЕРНАЕ ВЫПРАМЕНЬВАННЕ
ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ИЗОЛЯЦИЯ
ЭЛЕКТРЫЧНАЯ ІЗАЛЯЦЫЯ
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br555819
005 20200312153155.0
100 # # $a 20031028d1981 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Исследование деформации полупроводниковых структур с диэлектрической изоляцией методом отраженного лазерного излучения  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.12.18  $f Пилипенко Владимир Александрович  $g Акад. наук Белорус. ССР, Ин-т электроники АН БССР 
210 # # $a Мн.  $d 1981 
215 # # $a 19 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 18-19 (9 назв.) 
300 # # $a Для служ. пользования. 
311 # # $a В фонде НББ имеются авторефераты диссертации на соискание аналогичной ученой степени (Минск, 1979, 1978) 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br755414 
488 # 1 $1 001BY-NLB-br755843 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15689  $a ЛАЗЕРНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2164574  $a ДЕФОРМАЦИЯ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14542  $a КОНТРОЛЬ КАЧЕСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24597  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15093  $a КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2164577  $a ДЭФАРМАЦЫЯ (фіз.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14543  $a КАНТРОЛЬ ЯКАСЦІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24596  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15690  $a ЛАЗЕРНАЕ ВЫПРАМЕНЬВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38902  $a ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ИЗОЛЯЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38903  $a ЭЛЕКТРЫЧНАЯ ІЗАЛЯЦЫЯ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.12.18  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-241260  $a Пилипенко  $b В. А.  $g Владимир Александрович  $c доктор технических наук  $f род. 1949 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20031028  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad98320.pdf 

Схожие документы