Оптико-электронные методы и приборы прецизионного контроля геометрических и оптических параметров технических микрообъектов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.11.07: 17.10.2003 / Ильин Виктор Николаевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад97641, 2Ад98678,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Ильин, В. Н.
Опубликовано: Мн. , 2003
Физические характеристики: 45 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br550852
005 20210806133719.0
100 # # $a 20031001d2003 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Оптико-электронные методы и приборы прецизионного контроля геометрических и оптических параметров технических микрообъектов  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук  $e 05.11.07  $e 17.10.2003  $f Ильин Виктор Николаевич  $g Гос. науч. учреждение "Ин-т электроники Нац. акад. наук Беларуси" 
210 # # $a Мн.  $d 2003 
215 # # $a 45 с. 
300 # # $a Рез. парал.: белорус., рус., англ 
300 # # $a Библиогр.: с. 32-42 (105 назв.) 
300 # # $a Для служ. пользования. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21869  $a ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar43492  $a ИНТЕРФЕРЕНЦИЯ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9529  $a ДИФРАКЦИЯ ВОЛН  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21870  $a ОПТАЭЛЕКТРОННЫЯ ПРЫБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar43493  $a ІНТЭРФЕРЭНЦЫЯ (фіз.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9530  $a ДЫФРАКЦЫЯ ХВАЛЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2748278  $a ГЕОМЕТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2748279  $a ГЕАМЕТРЫЧНЫЯ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25386  $a ПРЕЦИЗИОННЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ  $2 DVNLB 
675 # # $a 681.786.23/.24(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 59.41  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.11.07  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-284769  $a Ильин  $b В. Н.  $g Виктор Николаевич  $c доктор технических наук, приборостроение 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20031001  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad97641.pdf