Структуры металл-диоксид кремния-полупроводник для интегральных микросхем: Дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01: 13.12.2001: 10.04.2002 / Хатько Вячеслав Владимирович
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Хатько, В. В. |
| Publié: | Мн. , 2001 |
| Langue: | Русский |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||