Молекулярно-лучевая эпитаксия кремния, стимулированная ионным облучением: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: [специальность] 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Шенгуров Владимир Геннадьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад86085,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Шенгуров, В. Г.
Опубликовано: Нижний Новгород , 2002
Физические характеристики: 45 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br467196
005 20201020085426.0
100 # # $a 20030318d2002 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Молекулярно-лучевая эпитаксия кремния, стимулированная ионным облучением  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук  $e [специальность] 01.04.07 Физика конденсированного состояния  $f Шенгуров Владимир Геннадьевич  $g [Нижегородсккий государственный университет им. Н. И. Лобачевского] 
210 # # $a Нижний Новгород  $d 2002 
215 # # $a 45 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 40–45 (36 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3130678  $a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1659663  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2282245  $a МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3130309  $a ИОННОЕ ОБЛУЧЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15827  $a ЛЕГИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.03  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.21  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-544935  $a Шенгуров  $b В. Г.  $g Владимир Геннадьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20030318  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo