|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br462018 |
| 005 |
20070615192041.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20030218d2002 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Выращивание плазменными методами пленок алмаза и родственных материалов (алмазоподобных, нитрида алюминия, оксида цинка) и применение многослойных структур на основе этих пленок в микро- и акустоэлектронике
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук
$e 05.27.06
$f Белянин Алексей Федорович
$g [Центр. науч.-исслед. технол. ин-т "Техномаш"]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 2002
|
| 215 |
# |
# |
$a 50 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 43-50 (86 назв.).
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.37
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.37.25
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-552922
$a Белянин
$b А. Ф.
$g Алексей Федорович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20030218
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
