|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br461524 |
| 005 |
20070615192030.9 |
| 100 |
# |
# |
$a 20030217d2002 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка и исследование технологии формирования активных диффузионных слоев элементов твердотельной электроники методом импульсной имплантации
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.27.01
$f Панченко Валерий Александрович
$g Кабард.-Балкар. гос. ун-т им. Х.М.Бербекова
|
| 210 |
# |
# |
$a Нальчик
$d 2002
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c. 22-23 (22 назв.).
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-551510
$a Панченко
$b В. А.
$g Валерий Александрович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20030217
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
