Физические и химические методы стимулирования технологических процессов микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Колешко Владимир Михайлович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Колешко, В. М. (род. 1942) |
| Published: | Минск , 1978 |
| Physical Description: |
49 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||