Плазменные источники распыляющих ионов на основе открытых разрядов низкого давления в магнитном поле с холодным катодом: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 01.04.14 / Шулунов Вячеслав Рубинович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шулунов, В. Р. |
| Опубликовано: | Улан-Удэ , 2002 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||