Плазменные источники распыляющих ионов на основе открытых разрядов низкого давления в магнитном поле с холодным катодом: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 01.04.14 / Шулунов Вячеслав Рубинович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад83504,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Шулунов, В. Р.
Опубликовано: Улан-Удэ , 2002
Физические характеристики: 24 с.
Язык: Русский
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br457314
005 20070615191957.4
100 # # $a 20030129d2002 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Плазменные источники распыляющих ионов на основе открытых разрядов низкого давления в магнитном поле с холодным катодом  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 01.04.14  $f Шулунов Вячеслав Рубинович  $g [Отд. физ. проблем при Президиуме Бурят. науч. центра СО РАН] 
210 # # $a Улан-Удэ  $d 2002 
215 # # $a 24 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 23-24 (12 назв.). 
686 # # $a 44.31.03  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.14  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-546943  $a Шулунов  $b В. Р.  $g Вячеслав Рубинович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20030129  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo