Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Голосов Дмитрий Анатольевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад82523, 2Н//179532(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Голосов, Д. А. (род. 1971)
Опубликовано: Мн. , 2002
Физические характеристики: 24 с.
Язык: Русский
Предмет:
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ПОДЛОЖКИ (электроника)
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
ТОНКИЕ ПОКРЫТИЯ
ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
РАСПЫЛЕНИЕ
ПАДЛОЖКІ (электроніка)
ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
НАНЯСЕННЕ ПАКРЫЦЦЯЎ
ТОНКІЯ ПАКРЫЦЦІ
РАСПЫЛЕННЕ
ІОННА-ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ
ИОННОЕ АССИСТИРОВАНИЕ
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br453828
005 20220322092739.0
100 # # $a 20030115d2002 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.06  $f Голосов Дмитрий Анатольевич  $g Учреждение образования "Бел. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Мн.  $d 2002 
215 # # $a 24 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 19-21 (19 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12168  $a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12169  $a ІОННА-ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14198465  $a ИОННОЕ АССИСТИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19559  $a НАНЯСЕННЕ ПАКРЫЦЦЯЎ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24114  $a ПАДЛОЖКІ (электроніка)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27459  $a РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27460  $a РАСПЫЛЕННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34165  $a ТОНКИЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34166  $a ТОНКІЯ ПАКРЫЦЦІ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77.002:621.793(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.19  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar2637559  $a Голосов  $b Д. А.  $g Дмитрий Анатольевич  $c кандидат технических наук  $f род. 1971 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20030115  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br453828&fileID=957244 

Схожие документы