Спектроскопия отраженных электронов и микротомография слоистых структур в растровой электронной микроскопии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.01 / Савин Владислав Олегович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад78676,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Савин, В. О.
Опубликовано: М. , 2002
Физические характеристики: 15 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br439492
005 20241220162340.0
100 # # $a 20021104d2002 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Спектроскопия отраженных электронов и микротомография слоистых структур в растровой электронной микроскопии  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 01.04.01  $f Савин Владислав Олегович  $g [Моск. гос. ун-т им. М.В.Ломоносова] 
210 # # $a М.  $d 2002 
215 # # $a 15 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 13-15 (12 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38718  $a ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ФИЗИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5556225  $a РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21237  $a ОБРАТНОЕ РАССЕЯНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18306  $a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4079316  $a ТРЕХМЕРНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar30588  $a СЛОИСТЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21805  $a ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ (мат.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5531108  $a МИКРОТОМОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17280  $a МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.35.43  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.03.77  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-543850  $a Савин  $b В. О.  $g Владислав Олегович  $c кандидат физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20021104  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo