Технология и исследование конденсаторных структур на основе сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Панкрашкин Алексей Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад78478,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Панкрашкин, А. В.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2002
Физические характеристики: 16 c. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br438913
005 20241203114727.0
100 # # $a 20021031d2002 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Технология и исследование конденсаторных структур на основе сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Панкрашкин Алексей Владимирович  $g [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)] 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2002 
215 # # $a 16 c.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 14―16 (25 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29520  $a СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar8280944  $a СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23808  $a ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5924366  $a ЦИРКОНАТ-ТИТАНАТ СВИНЦА   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3170564  $a МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14326  $a КОНДЕНСАТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13843081  $a ПИРОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПРИЕМНИКИ ИЗЛУЧЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9673  $a ДОЗИМЕТРИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35187  $a УЛЬТРАФИОЛЕТОВОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.14.07  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-550919  $a Панкрашкин  $b А. В.  $g Алексей Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20021031  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo