|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br438534 |
| 005 |
20241203112636.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20021030d2002 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование оптических свойств зонных пластинок френеля из кремния для осевой геометрии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$f Исоян Артак Айказович
$g [Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН]
|
| 210 |
# |
# |
$a Черноголовка
$d 2002
|
| 215 |
# |
# |
$a 21 с., включая обложку
$c ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19―21
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3275222
$a РЕНТГЕНОВСКАЯ ОПТИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar8053345
$a ОПТИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar8157725
$a ФРЕНЕЛЯ ЛИНЗЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23734
$a ПЛАСТИНЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar28135
$a РЕНТГЕНОВСКОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4600859
$a РАЗБИЕНИЙ ТЕОРИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar62305
$a ДИФРАКЦИОННЫЕ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2790887
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1578239
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34342
$a ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 41.51.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.29.39
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-553292
$a Исоян
$b А. А.
$g Артак Айказович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20021030
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
