Создание научных основ разработки электротехнологического высокочастотного плазменного оборудования для обработки изделий электронного приборостроения: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.09.10 / Хрусталев Владимир Александрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Хрусталев, В. А. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 2002 |
| Физические характеристики: |
32 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |