Структуры кремний-на-изоляторе на основе окисленного пористого кремния для комплементарных металл-оксид-полупроводник интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Яковцева Валентина Александровна
Сохранено в:
格式: | |
---|---|
主要作者: | Яковцева, В. А. |
出版: | Мн. , 2002 |
實物描述: |
20 с.
|
語言: | Русский |
主題: | |
在線閱讀: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 2 | 可用 預訂 | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|