Структуры кремний-на-изоляторе на основе окисленного пористого кремния для комплементарных металл-оксид-полупроводник интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Яковцева Валентина Александровна
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Яковцева, В. А. |
| Wydane: | Мн. , 2002 |
| Opis fizyczny: |
20 с.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Dostępne Zamów | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||