Структуры кремний-на-изоляторе на основе окисленного пористого кремния для комплементарных металл-оксид-полупроводник интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Яковцева Валентина Александровна
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Яковцева, В. А. |
| Veröffentlicht: | Мн. , 2002 |
| Beschreibung: |
20 с.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Verfügbar Bestellen | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||