Структуры кремний-на-изоляторе на основе окисленного пористого кремния для комплементарных металл-оксид-полупроводник интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Яковцева Валентина Александровна

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад78099, 2Н//179796(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Яковцева, В. А.
Опубликовано: Мн. , 2002
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br437123
005 20240925085259.0
100 # # $a 20021023d2002 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Структуры кремний-на-изоляторе на основе окисленного пористого кремния для комплементарных металл-оксид-полупроводник интегральных схем  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.01  $f Яковцева Валентина Александровна  $g Учреждение образования "Бел. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Мн.  $d 2002 
215 # # $a 20 с. 
300 # # $a Библиогр.: c. 15-17 (28 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83377  $a КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ-ТЕХНОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83378  $a КРЭМНІЙ НА ІЗАЛЯТАРЫ-ТЭХНАЛОГІЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2745708  $a ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar64055  $a МОП-СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-508786  $a Яковцева  $b В. А.  $g Валентина Александровна  $c кандидат технических наук, электроника 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20021023  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad78099.pdf