|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br435382 |
| 005 |
20240911101454.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20021016d2002 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$f Голишников Александр Анатольевич
$g [Московский государственный институт электронной техники (технический университет)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2002
|
| 215 |
# |
# |
$a 27 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 25―27 (20 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7358508
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3128229
$a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2867848
$a ПЛОТНАЯ ПЛАЗМА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-563968
$a Голишников
$b А. А.
$g Александр Анатольевич
$c кандидат технических наук
$f род. 1960
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20021016
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
